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半導(dǎo)體行業(yè)的高速壓力調(diào)節(jié)閥采用 85 /86 系列壓力傳感器進行精確測量
專欄:技術(shù)支持
發(fā)布日期:2022-06-11
閱讀量:1882
作者:安泰
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在相同的氣體流量應(yīng)用工藝中,采用相同的氣體質(zhì)量流量控制器,使用了高速自動壓力調(diào)節(jié)閥控制的次級壓力非常穩(wěn)定,并且氣體質(zhì)量流量控制器控制的氣體輸出也更穩(wěn)定,基本消除了較大的流量控制偏差。
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    半導(dǎo)體行業(yè)MOCVD工藝或者LCD濺射CVD工藝中,精確的氣體分配和氣體質(zhì)量流量控制都是十分關(guān)鍵的技術(shù)。


Key Physical Parameters in Semiconductor


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氣體質(zhì)量流量控制

壓力控制


    控制的關(guān)鍵點之一是控制分配閥前端管道的壓力值保持穩(wěn)定。


    實際使用過程中,任一管道流量的突然變化都會對其他管道產(chǎn)生壓力波動影響,從而影響流量控制結(jié)果。此情景類似于在用熱水器洗澡的時候,旁邊的水龍頭被打開了,你第一時間就感受到了壓力變化,甚至有些時候溫度變化,你會記憶更深刻些。而在MOCVD工藝以及其他類似應(yīng)用工藝中,這些氣體質(zhì)量流量變化必須控制一定的范圍內(nèi),以免產(chǎn)生過大的廢品率。




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自動壓力調(diào)節(jié)控制

壓力自動調(diào)節(jié)閥


    于是,采用一個響應(yīng)快速,精確控制的自動壓力調(diào)節(jié)閥就成了最佳選擇。

    上圖中采用UR高速自動壓力調(diào)節(jié)閥和傳統(tǒng)的壓力控制方式,可以很明顯地看到壓力控制區(qū)別以及后續(xù)氣體質(zhì)量流量控制效果。

    黑色爬坡下坡實線為主管道初級壓力波動曲線,淺藍色實線為控制后的次級壓力波動曲線,黑色波浪線為氣體質(zhì)量流量控制器輸出的實際流量波動曲線。在相同的氣體流量應(yīng)用工藝中,采用相同的氣體質(zhì)量流量控制器,使用了高速自動壓力調(diào)節(jié)閥控制的次級壓力非常穩(wěn)定,并且氣體質(zhì)量流量控制器控制的氣體輸出也更穩(wěn)定,基本消除了較大的流量控制偏差。




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高速壓力調(diào)節(jié)閥采用

85 /86 壓力傳感器

進行壓力測量   


采用模擬信號輸出的緊湊型85/86系列壓力晶圓 快速準(zhǔn)確的壓力測量為高速準(zhǔn)確的壓力自動調(diào)節(jié)提供穩(wěn)定信號支持。





  • 快速測量:10%至90%頻響 0.1mS;

  • 工作溫度范圍:-40~125°C;

  • 補償溫度范圍:-20~85°C;

  • 接液材質(zhì):316L兼容氣體和液體;

  • 過載能力:3倍滿量程;

  • 長期穩(wěn)定性:±0.10%FS每年;



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